Projects

• 영역 선택적 원자층 증착법을 위한 유기금속전구체 소재 기술 개발

주요 역할: 연구책임자

수여 기관: 과학기술정보통신부

연구책임자: 엄태용

총 연구비: 8.1억원

연구 기간: 2021.04.26 – 2023.12.31

• 고이동도 산화물반도체 소재 개발을 위한 원자층 증착용 신규 유기금속전구체 기술 개발

주요 역할: 공동연구

수여 기관: 과학기술정보통신부

연구책임자: 정택모

총 연구비: 23.99억원

연구 기간: 2020.05.15 – 2024.02.29

• 반도체 배선 공정용 전구체 기술개발

주요 역할: 공동연구

수여 기관: 산업통상자원부

연구책임자: 정택모

총 연구비: 10.48억원

연구 기간: 2020.04.01 – 2024.02.29

• EUV 광 반응성이 있는 무기물 기반 화합물 박막 소재 및 전구체 기술개발

주요 역할: 공동연구

수여 기관: 산업통상자원부

연구책임자: 정택모

총 연구비: 10.00억원

연구 기간: 2022.01.01 – 2024.02.29

• 태양전지 광흡수층용 금속 질화물 박막을 위한 금속 전구체 및 화학기상증착 박막공정 개발

주요 역할: 공동연구

수여 기관: 과학기술정보통신부

연구책임자: 정택모

총 연구비: 10.35억원

연구 기간: 2019.02.01 – 2023.07.31