Patents

包括上喷头和下喷头的沉积设备 중국 109797379 B (2022.11.15)

包括上喷头和下喷头在内的沉积装置 중국 109797376 B (2022.10.28)

Deposition apparatus including upper shower head and lower shower head 미국 11345998 B2 (2022.05.31)

Deposition apparatus including upper shower head and lower shower head 미국 11018045 B2 (2022.05.25)

Nonvolatile memory devices comprising a conductive line comprising portions having different profiles and methods of fabricating 미국  10734403 B2 (2020.08.04)

上部シャワーヘッド及び下部シャワーヘッドを含む蒸着装置 일본 06698788 B2 (2020.05.27)

영역 선택적 금속 박막 및 이의 제조방법 10-2510977 (2023.03.13)

4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막증착용 조성물 10-2327450 (2021.11.11)

화학 기상 증착 반응 장치 10-2275037 (2021.07.02)

구리 알콕시알킬아미드 화합물, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 10-2182245 (2020.11.18)

반도체 소자의 제조 장치의 공정 모니터링 방법 및 이를 이용한 모니터링 시스템 10-1735158 (2017.05.04)

상변화 메모리 소자 및 이의 제조 방법 10-1264533 (2013.05.08)

칼코제나이드계 박막 에칭방법 및 칼코제나이드계 박막 증착장치 클리닝 방법 10-1079634 (2011.11.04)

칼코제나이드계 박막 증착방법 10-1071251 (2011.09.30)